新凯来技术突破与产业意义

      新凯来作为深圳国资委全资控股的半导体设备企业，承担着突破光刻机等 “卡脖子” 技术的重任，其产业链涉及多个环节

• 12 英寸清洗设备：该设备已成功进入中芯国际深圳厂的供应链体系，能够满足 28nm 及以下制程的工艺要求。在当前全球半导体设备国产化率不足 20% 的背景下，新凯来的这一突破对于提升国内芯片制造的自主可控水平具有重要意义。

• SiC 外延工艺：新凯来开发的垂直结构外延技术，使 SiC 器件的良率提高至 95% 以上。这一成果将有力推动新能源汽车、光伏逆变器等领域的发展，预计到 2026 年，其相关产品的营收占比将超过 30%。
  
  
  

• 核心供应商类
  

• 至纯科技（603690.SH）：作为新凯来湿法清洗设备的核心供应商，其子公司至微科技已获得部分先进制程订单。2025 年来自新凯来的订单超 26 亿元，在手订单充足。随着半导体行业对清洗设备需求的增长以及新凯来业务的拓展，公司业绩增长确定性高。

• 新莱应材（300260.SZ）：为新凯来刻蚀、薄膜沉积设备提供超高洁净管路与真空阀门等关键零部件。2025 年斩获新凯来数亿级订单，产品达到国际最高标准，随着新凯来设备量产，零部件需求持续增长，公司有望充分受益。

• 利和兴（301013.SZ）：为新凯来提供精密结构件、自动化测试夹具，覆盖刻蚀、薄膜沉积设备全流程。2024 年来自新凯来的订单占比超 60%，占公司当年营收的 70% 以上，新凯来业务的增长将直接带动利和兴的业绩提升。

• 国林科技（300786.SZ）：为新凯来提供半导体级臭氧设备，用于 ALD/CVD 工艺中的清洗环节，是国内唯一实现 5nm 制程臭氧设备量产的企业。2025 年半导体业务营收占比超 40%，新凯来为其带来主要增量，未来随着新凯来相关业务的推进，公司业务也将迎来新的增长。

• 技术协同类

• 凯美特气（002549）：电子特气是公司战略重点，产品包括光刻气等，用于半导体光刻、刻蚀等工艺。光刻气产品通过日本 GIGAPHOTON 株式会社的合格供应商认证，进入半导体供应链，客户涵盖中芯国际、长江存储等头部晶圆厂，随着新凯来等半导体企业的发展，对电子特气的需求增加，公司有望受益。

• 奥普光电（002338.SZ）：实控人中科院长春光机所与新凯来合资成立长光集智，奥普光电向长光集智供应纳米级物镜等关键组件，间接参与新凯来光刻机的制造。若新凯来光刻机取得技术突破和量产，将为奥普光电带来新的发展机遇。

• 冠石科技（605588）：与新凯来联合研发 SAOP 技术，用于 28nm 及以下先进制程的光刻环节，可减少对高端光刻机的依赖，随着新凯来在相关技术领域的推进，冠石科技有望实现技术和业务的突破。

• 同惠电子（833509）：作为北交所唯一同时向华为海思和新凯来供货的企业，提供精密阻抗测试仪、SMU 源表等检测设备，产品覆盖新凯来设备的 “来料检测” 环节，2025 年来自新凯来的订单占比超 20%，占公司当年营收的 15% 以上，新凯来的发展将带动其检测设备业务的增长。

• 股权关联类

• 深振业 A（000006）：与新凯来同一实控股东，新凯来董事黄秀章同时担任深振业 A 监事，市场预期新凯来可能通过资产重组注入深振业 A，若实现，将使深振业 A 从传统地产股蜕变为 “半导体设备 + 地产” 双赛道平台，具有一定的投资想象空间。